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在卫星激光通信中，光束控制精度关乎通信质量，快速反射镜犹如“精密心脏”。
近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研制出集成角度的高性能MEMS快反镜，镜面尺寸大、封装体积小，性能优良，在激光卫星通信方面潜力巨大。
该快反镜历经近五年才研制成功，采用双层异构集成与晶圆级键合工艺，体积仅一枚1元硬币大小。
封装后的MEMS快反镜
它攻克传统机械快反镜和原有MEMS快反镜的技术瓶颈，打造出航天级产品，指向精度达μrad量级，满足星载应用的超高性能指标。
受手机屏幕启发，团队利用硅压阻应变原理集成片上角度传感器，通过结构创新使灵敏度提升63%，优化光束控制精确性。
测试结果表明，在特定频率下，角度精度达标，最大动态表面形变仅2纳米。
官方打了一个比方，这就相当于在足球场大小的镜面上，所有起伏不超过一根头发丝的直径，满足远距离卫星激光通信对镜面面型的严苛要求。
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来源：快科技等
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